石英亞沸蒸餾是利用熱輻射原理，保持液相溫度低于沸點溫度蒸發冷凝而制取高純水和高純試劑。而一般的石英蒸餾器，因沸騰蒸餾，氣中夾帶水珠，氣液分離不*，致使水質不高；全玻璃蒸餾器，更因玻璃本身所含的污染，水質更差；離子交換水，又因有機物質的溶解帶入有機物的干擾。石英亞沸蒸餾水器既避免了玻璃雜質的污染，又因液相溫度低于沸點。不致因沸騰而在蒸氣中夾帶水珠。既氣液分離*。因此水質*，經無焰原子吸收法分析無重金屬檢出。